設備規格
類型
額定幫浦抽氣速度
旋轉速度(50Hz)
旋轉速度(60Hz)
旋轉速度(60Hz)
馬達功率
最大容許壓差
連接法蘭
| Unit | WA/WAU 251 | WA/WAU 501 | WA/WAU 1001 | WA/WAU 2001 |
| m3h | 253 | 505 | 1000 | 2050 |
| 最小值-1 | 3000 | |||
| 最小值-1 | 3600 | |||
| kW | ≤1.1 | ≤2.2 | ≤4.0 | 7.5 |
| mbar | 80 | 80 | 80 | 50 |
| - | DN63 PN6 | DN63 PN6 | DN100 PN6 | DN160 PN6 |
FEATURES AND BENEFITS
特點優點
快速循環時間
對於快速排空為第一要務的領域，能盡可能達到最短的循環時間。
低壓下
成就高速抽氣
成就高速抽氣
在進行鋰離子電池製程的氣相沉積流程或電解質除氣之前，針對薄膜塗層的應用快速達到低於 10-3 mbar 的壓力。
實現大容量
可提供大型生產製程所需的容量，例如單晶矽拉製以製造半導體和太陽能電池的基本材料。
持有成本低
乾式魯式鼓風機不僅環保，且為氣冷式，因此能節省昂貴的用水/廢水處理，以及水迴路維護成本。
給予極致高真空品質與
高速抽氣應用
高速抽氣應用
各種科學及實驗室應用產業的標準配備
RUVAC WA/WAU 魯式鼓風機配備由 FPM (FKM) (氟聚合物) 製成的徑向軸封環，可延長維修週期。
具有額外的整合式壓力平衡通道和差壓旁通閥。提供垂直氣流做為標準配備，但需要時也可變更為水平氣流配置。
具有額外的整合式壓力平衡通道和差壓旁通閥。提供垂直氣流做為標準配備，但需要時也可變更為水平氣流配置。
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