設備規格
類型
電頻(Hz)
抽速m3h
*含Backing Pump
*含Backing Pump
終極壓力(mbar)
*without gas ballast
*without gas ballast
Connection flanges(DN)
噪音程度(dB)
WA/WAU 251 | WA/WAU(H) 501 | WA/WAU(H) 1001 | WA/WAU(H) 2001 | ||||
50HZ | 60HZ | 50HZ | 60HZ | 50HZ | 60HZ | 50HZ | 60HZ |
210 TRIVAC D65B |
251 TRIVAC D65B |
410 SOGEVAC SV200 |
530 SOGEVAC SV200 |
800 SOGEVAC SV300B |
1000 SOGEVAC SV300B |
1850 SOGEVAC SV630BF |
2100 SOGEVAC SV630BF |
<8x10-4 | <8x10-4 | <4x10-2 | <4x10-2 | <4x10-2 | |||
63 ISO-K | 100 ISO-K | 100 ISO-K | 160 ISO-K | 160 ISO-K | |||
<62 | <64 | <65 | <67 | <70 | <73 | <72 | <77 |
FEATURES AND BENEFITS
特點優點
內置差壓閥及整合式壓力平衡通道
若壓差太高,幫浦的旋轉速度會自動降低,直到達到其負載為止。
變頻器與
幫浦匹配
幫浦匹配
可排除機械過載的可能性。
結合油封式 SOGEVAC
可在搬送真空閉鎖腔室應用中達到最短的抽氣時間。
結合乾式 DRYVAC和SCREWLINE
保證能在製程腔體內提供乾燥、可靠且零故障的真空。
給予極致高真空品質與
高速抽氣應用
高速抽氣應用
各種科學及實驗室應用產業的標準配備
Leybold RUVAC WS 魯式是由氣冷式或水冷罐式密封馬達所驅動。
RUVAC 也用於製造單晶矽的單晶拉製設備,單晶是製造半導體和太陽能電池的基本材料。我們很高興能為您提供廣泛的產品系列、應用支援及專業知識。
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