RUVAC WSU
RUVAC WSU

RUVAC WSU

由於沒有驅動軸引入,因此以理想的方式滿足了對可靠性和完美密封的要求。 RUVAC WS 系列中的密封(轉子)電機與高效潤滑系統相結合,可實現高達 6,000 RPM(帶變頻器)的運行速度。 這意味著用相同尺寸的泵提高抽速。整個 WA(U) 系列符合能源效率等級 IE3。

  • 適用於/
    快速排空、高真空範圍內壓縮大體積的氣體或蒸汽流。
  • 應用/
    熱處理、熔爐、冶金或大面積塗層。
設備規格
類型
電頻(Hz)
抽速m3h
*含Backing Pump
終極壓力(mbar)
*without gas ballast
Connection flanges(DN)
噪音程度(dB)
WA/WAU 251 WA/WAU(H) 501 WA/WAU(H) 1001 WA/WAU(H) 2001
50HZ 60HZ 50HZ 60HZ 50HZ 60HZ 50HZ 60HZ
210
TRIVAC D65B
251
TRIVAC D65B
410
SOGEVAC SV200
530
SOGEVAC SV200
800
SOGEVAC SV300B
1000
SOGEVAC SV300B
1850
SOGEVAC SV630BF
2100
SOGEVAC SV630BF
<8x10-4 <8x10-4 <4x10-2 <4x10-2 <4x10-2
63 ISO-K 100 ISO-K 100 ISO-K 160 ISO-K 160 ISO-K
<62 <64 <65 <67 <70 <73 <72 <77
FEATURES AND BENEFITS
特點優點
內置差壓閥及整合式壓力平衡通道
若壓差太高,幫浦的旋轉速度會自動降低,直到達到其負載為止。
變頻器與
幫浦匹配
可排除機械過載的可能性。
結合油封式 SOGEVAC
可在搬送真空閉鎖腔室應用中達到最短的抽氣時間。
結合乾式 DRYVAC和SCREWLINE
保證能在製程腔體內提供乾燥、可靠且零故障的真空。
給予極致高真空品質與
高速抽氣應用
各種科學及實驗室應用產業的標準配備
Leybold RUVAC WS 魯式是由氣冷式或水冷罐式密封馬達所驅動。

RUVAC 也用於製造單晶矽的單晶拉製設備,單晶是製造半導體和太陽能電池的基本材料。我們很高興能為您提供廣泛的產品系列、應用支援及專業知識。
Laybold pump
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