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61.6 HV蝶形控制和隔離閥HV Butterfly Control and Isolation Valve
61.6 具有快速和精確的運動控制（0.45 秒），是 CVD 工藝中精細控制和關閉的完美解決方案。閥瓣充當節流元件，可調節閥門開度的電導。61.6的集成壓力調節器計算所需的板位置以盡快達到設定壓力。 其特性是專門為避免蝶閥較高的密封磨損特性而設計的。憑藉其偏心提升軸和特殊的閥體和閥座幾何形狀，密封摩擦最小化，密封性能提高。 憑藉堅固的設計和直接安裝（無法蘭）的可能性以及減少和易於維護，外殼材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、密封材料、特殊尺寸、特殊控制算法（自適應、固定 PI、下游/軟泵）的多種設計選項簡化了 61.6 系列在各種真空應用中的集成。
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特徵／在惡劣的工藝條件下可靠運行、出色的壓力控制和關閉
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好處／更好的過程可控性、高可用性/無限性能
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