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15.1 高壓隔離閘閥 HV Isolation Gate Valve

15.1 HV 隔離閘閥系列專為需要低顆粒生成和衝擊敏感性的應用而設計。這些閥門可用於在高達 UHV < 10-10 mbar 的各種壓力水平下進行真空隔離。該系列中的所有閥門都配備了 MOOVAT 技術。該技術提供可靠的澆口密封，沒有任何摩擦，並降低了顆粒產生的風險。MONOVAT 技術的一個關鍵特性是硫化澆口密封。這是一種高度可靠且更耐用的密封解決方案。另一個好處是它在低顆粒生成和除氣方面的卓越性能。此外，MONOVAT 技術的特殊軟關閉機構 - 不含任何潤滑劑 - 最大限度地減少了對安裝閥門的系統的機械衝擊影響。在傳統的閥門解決方案中，快速移動的閘門接觸閥體可能會引起機械衝擊。具有分體式機身的堅固設計減少了工作量並簡化了維護。該系列輕鬆滿足從標準真空到特高壓真空隔離的所有要求。法蘭連接、密封材料或附加真空端口的各種設計選項使其易於集成到任何應用中。