設備規格
類型
電頻(Hz)
抽速(m3/h)
終極壓力(mbar/torr)
*without gas ballast
*without gas ballast
體積(L*W*H)
進氣口管徑
出氣口管徑
噪音程度(dB)
D4B | D8B | D16B | D25B | D40B | D65B |
50HZ60HZ
|
50HZ60HZ
|
50HZ60HZ
|
50HZ60HZ
|
50HZ60HZ
|
50HZ60HZ
|
4.25
|
8.510.2
|
16.519.8
|
25.730.8
|
4048
|
6578
|
<2*10-3/<1.5*10-3 | <2*10-3/<1.5*10-3 | <2*10-3/<1.5*10-3 | <2*10-3/<1.5*10-3 | <2*10-3/<1.5*10-3 | <2*10-3/<1.5*10-3 |
/ | / | / | / | / | / |
16KF | 16KF | 25KF | 25KF | 40KF | 40KF |
16KF | 16KF | 25KF | 25KF | 40KF | 40KF |
5052
|
5052
|
5456
|
5456
|
5759
|
5759
|
FEATURES AND BENEFITS
特點優點
內置差壓閥及整合式壓力平衡通道
避免 WSU 機型過載 (選配)若壓差太高,幫浦的旋轉速度會自動降低,直到達到其負載為止。
變頻器與幫浦匹配
可排除機械過載的可能性
結合油封式 SOGEVAC
可在搬送真空閉鎖腔室應用中達到最短的抽氣時間。
結合乾式 DRYVAC和SCREWLINE
保證能在製程腔體內提供乾燥、可靠且零故障的真空。
給予極致高真空品質與
高速抽氣應用
高速抽氣應用
各種科學及實驗室應用產業的標準配備
客戶的要求以及不斷提高的環境要求推動了 TRIVAC 的進一步發展。除了標準電壓和頻率外,還提供 OEM 特殊要求的全球電機。
TRIVAC油封旋片真空泵適用於所有真空領域,並且特別適合在應用生產和研究上,用於抽空在原石或介質中的壓力真空範圍,或作為前級泵結合根、擴散、渦輪分子泵或低溫泵等用途。
TRIVAC油封旋片真空泵適用於所有真空領域,並且特別適合在應用生產和研究上,用於抽空在原石或介質中的壓力真空範圍,或作為前級泵結合根、擴散、渦輪分子泵或低溫泵等用途。
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