16.2 高壓擺式隔離閥 HV Pendulum Isolation Valve

16.2 HV 擺式隔離閥提供可靠的隔離性能以及低粒子計數和低粒子活化。出色的粒子性能是通過異常平滑的打開和關閉運動來實現的。 它是蒸發器和濺射應用等苛刻工藝中隔離要求的理想選擇。16.2 閥提供 3 位氣動單作用，帶關閉彈簧或標準氣動，單作用，帶關閉彈簧。 憑藉其特殊的分體式設計，無需拆卸管道連接或工藝室連接即可進行維護。其纖薄的設計允許將 16.2 直接安裝到工藝腔室中，從而消除了腔室 - 閥門 - 泵連接中通常所需的體積。 憑藉其堅固的設計以及多種設計選項，16.2 系列易於集成到各種真空工藝中。

• 特徵／
  在惡劣的過程環境中可靠隔離、低衝擊運行，低粒子活化、過程惰性 - 極低的殘留釋氣 (RGA)
• 好處／
  正常運行時間長、可根據工藝要求進行調整、運營成本低