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技術維修
南科電子半導體大廠-南科廠 EDWARDS nXDS10i維修
南科電子半導體大廠-南科廠
■ 業主行業類別 :半導體製造業
提供高品質的晶圓製造服務，專注於邏輯及特殊技術，為跨越電子行業的各項主要應用產品生產晶片。
■ 產品品牌：EDWARDS
■ 產品型號：nXDS10i
■ 本案設備解決問題 : 客戶反應運轉異音- 經拆檢後發現軸承嚴重老化、漏油，此現象是造成運轉異音主因。
■ 本設備解決方案：定子、轉子腔室清潔，更換TIP SEAL ; 更換逆止閥彈簧 ; 更換軸承 ; 腔室清潔 ; BELLOW、零件清潔組裝 ; 運轉測試
提供高品質的晶圓製造服務，專注於邏輯及特殊技術，為跨越電子行業的各項主要應用產品生產晶片。
■ 產品品牌：EDWARDS
■ 產品型號：nXDS10i
■ 本案設備解決問題 : 客戶反應運轉異音- 經拆檢後發現軸承嚴重老化、漏油，此現象是造成運轉異音主因。
■ 本設備解決方案：定子、轉子腔室清潔，更換TIP SEAL ; 更換逆止閥彈簧 ; 更換軸承 ; 腔室清潔 ; BELLOW、零件清潔組裝 ; 運轉測試
維修前 Before
此案子拆檢前
經評估後：
定子側腔室製程汙染，tip seal 磨損 ; O-ring 破損 ; 轉子側腔室製程汙染，tip seal 磨損 ; 轉子側腔室製程汙染 ; O-ring 變形破損 ; 軸承老化、漏油 ; 腔室製程汙染 ; Bellow 製程汙染 ; 電控板無異常
經評估後：
定子側腔室製程汙染，tip seal 磨損 ; O-ring 破損 ; 轉子側腔室製程汙染，tip seal 磨損 ; 轉子側腔室製程汙染 ; O-ring 變形破損 ; 軸承老化、漏油 ; 腔室製程汙染 ; Bellow 製程汙染 ; 電控板無異常
維修後 After
此案子維修方案：
定子、轉子腔室清潔，更換TIP SEAL ; 更換逆止閥彈簧 ; 更換軸承 ; 腔室清潔 ; BELLOW、零件清潔組裝 ; 運轉測試。
完修後測試結果，真空度7.1*10-3 torr ，運轉電流2.24A
定子、轉子腔室清潔，更換TIP SEAL ; 更換逆止閥彈簧 ; 更換軸承 ; 腔室清潔 ; BELLOW、零件清潔組裝 ; 運轉測試。
完修後測試結果，真空度7.1*10-3 torr ，運轉電流2.24A
及時技術服務
提供客戶最優質的維修服務
對產品有疑問時，由專業的團隊立即給予所需要的協助， 提供真空幫浦測試及檢修的服務，藉由與客戶良好的互動 ，提供完全滿意的服務。
此外合欣技研為Edwards及Leybold原廠授權真空幫浦維 修商，讓客戶享有等同原廠的保固服務，同時為客戶解決 使用操作上的問題。
此外合欣技研為Edwards及Leybold原廠授權真空幫浦維 修商，讓客戶享有等同原廠的保固服務，同時為客戶解決 使用操作上的問題。
結語
整個設備從檢測-評估-維修-安裝-檢測約莫三周左右
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第一階段與客戶確認維修型號及相關問題
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第二階段登陸維修案號及維修報價
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第三階段進行幫浦檢測及維修
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第四階段維修後檢測，檢測合格即維修完成
非常歡迎您與我們連繫，請按下連絡我們，並歡迎留下您的大名+EMAIL +電話，我們會馬上派專員與您連絡！
