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技術維修
先進電漿技術科技大廠-愛德華魯式幫浦維修
電漿技術科技大廠
■ 業主行業類別 :
以研發先進電漿技術為主軸，提供高效能工業級表面處理解決方案為目標。
■ 產品品牌：Edwards
■ 產品型號 : EH250
■ 本案設備解決問題 : 腔室汙染 ; 軸承老化 ; 油封磨損 ; 軸套磨損
■ 本設備解決方案： : 更換基本維修零件包 ; 轉子清潔 ; 更換軸套 ; 更換羊毛墊圈 、油封 ;更換軸承 ; 腔體清潔加逆止閥組 ; PUMP 組裝運轉測試 。
■ 負責工程師 : Kevin
以研發先進電漿技術為主軸，提供高效能工業級表面處理解決方案為目標。
■ 產品品牌：Edwards
■ 產品型號 : EH250
■ 本案設備解決問題 : 腔室汙染 ; 軸承老化 ; 油封磨損 ; 軸套磨損
■ 本設備解決方案： : 更換基本維修零件包 ; 轉子清潔 ; 更換軸套 ; 更換羊毛墊圈 、油封 ;更換軸承 ; 腔體清潔加逆止閥組 ; PUMP 組裝運轉測試 。
■ 負責工程師 : Kevin
維修前 Before
此案子拆檢前
經評估後：
‧腔室製程汙染
‧軸承老化
‧油封磨損
‧軸套磨損
經評估後：
‧腔室製程汙染
‧軸承老化
‧油封磨損
‧軸套磨損
維修後 After
此案子維修方案：
‧轉子清潔
‧更換軸套
‧更換羊毛墊圈、油封
‧更換軸承
‧腔體清潔及排氣口、進氣口清潔
‧齒輪清潔組裝
‧更換馬達測油封
‧馬達測清潔組裝
‧加裝逆止閥組
‧加上前級PUMP運轉測試
組裝測試，真空度 3.8 * 10-3 torr、電流測試4.04 A。
‧轉子清潔
‧更換軸套
‧更換羊毛墊圈、油封
‧更換軸承
‧腔體清潔及排氣口、進氣口清潔
‧齒輪清潔組裝
‧更換馬達測油封
‧馬達測清潔組裝
‧加裝逆止閥組
‧加上前級PUMP運轉測試
組裝測試，真空度 3.8 * 10-3 torr、電流測試4.04 A。
及時技術服務
提供客戶最優質的維修服務
對產品有疑問時，由專業的團隊立即給予所需要的協助， 提供真空幫浦測試及檢修的服務，藉由與客戶良好的互動 ，提供完全滿意的服務。
此外合欣技研為Edwards及Leybold原廠授權真空幫浦維 修商，讓客戶享有等同原廠的保固服務，同時為客戶解決 使用操作上的問題。
此外合欣技研為Edwards及Leybold原廠授權真空幫浦維 修商，讓客戶享有等同原廠的保固服務，同時為客戶解決 使用操作上的問題。
結語
整個設備從檢測-評估-維修-安裝-檢測約莫三周左右
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第一階段與客戶確認維修型號及相關問題
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第二階段登陸維修案號及維修報價
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第三階段進行幫浦檢測及維修
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第四階段維修後檢測，檢測合格即維修完成
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