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技術維修
全球半導體晶圓專工電子廠-竹科廠 乾式幫浦維修保養
電子半導體業
■ 業主行業類別 :
提供高品質的晶圓製造服務，專注於邏輯及特殊技術，為跨越電子行業的 各項主要應用產品生產晶片。
■ 產品品牌：Edwards
■ 產品型號 : nXDS10i
■ 本案設備解決問題 : 真空異常、腔室製程汙染、Tip-Seal厚度不足、逆止 閥汙染、氣鎮閥汙染
■ 本設備解決方案： : 渦盤清潔、更換nXDS Tip Seal Service Kit、更換逆 止閥、進氣口清潔更換O-ring、排氣口清潔、組裝運轉測試
■ 負責工程師 : 薛約瑟 Joseph
提供高品質的晶圓製造服務，專注於邏輯及特殊技術，為跨越電子行業的 各項主要應用產品生產晶片。
■ 產品品牌：Edwards
■ 產品型號 : nXDS10i
■ 本案設備解決問題 : 真空異常、腔室製程汙染、Tip-Seal厚度不足、逆止 閥汙染、氣鎮閥汙染
■ 本設備解決方案： : 渦盤清潔、更換nXDS Tip Seal Service Kit、更換逆 止閥、進氣口清潔更換O-ring、排氣口清潔、組裝運轉測試
■ 負責工程師 : 薛約瑟 Joseph
維修前 Before
此案子拆檢前，運轉測試真空1.3 * 10-1 torr
經評估後：
‧轉子腔室製程汙染
‧定子腔室製程汙染
‧轉子側Tip-Seal磨損厚度不足‧
‧定子側Tip-Seal磨損厚度不足
‧逆止閥製程汙染
‧氣鎮閥製程汙染
經評估後：
‧轉子腔室製程汙染
‧定子腔室製程汙染
‧轉子側Tip-Seal磨損厚度不足‧
‧定子側Tip-Seal磨損厚度不足
‧逆止閥製程汙染
‧氣鎮閥製程汙染
維修後 After
此案子維修方案：
‧更換nXDS Tip Seal Service Kit
‧轉子渦盤清潔後安裝 Tip-seal
‧定子渦盤清潔後安裝 Tip-seal & O-ing
‧逆止閥更換
‧排氣口清潔
‧進氣口 O-ring更換
組裝測試，真空度 1.9 * 10-2 torr、電流測試正常，符合客戶需求，可以正常運作真空。
‧更換nXDS Tip Seal Service Kit
‧轉子渦盤清潔後安裝 Tip-seal
‧定子渦盤清潔後安裝 Tip-seal & O-ing
‧逆止閥更換
‧排氣口清潔
‧進氣口 O-ring更換
組裝測試，真空度 1.9 * 10-2 torr、電流測試正常，符合客戶需求，可以正常運作真空。
及時技術服務
提供客戶最優質的維修服務
對產品有疑問時，由專業的團隊立即給予所需要的協助， 提供真空幫浦測試及檢修的服務，藉由與客戶良好的互動 ，提供完全滿意的服務。
此外合欣技研為Edwards及Leybold原廠授權真空幫浦維 修商，讓客戶享有等同原廠的保固服務，同時為客戶解決 使用操作上的問題。
此外合欣技研為Edwards及Leybold原廠授權真空幫浦維 修商，讓客戶享有等同原廠的保固服務，同時為客戶解決 使用操作上的問題。
結語
整個設備從檢測-評估-維修-安裝-檢測約莫三周左右
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第一階段與客戶確認維修型號及相關問題
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第二階段登陸維修案號及維修報價
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第三階段進行幫浦檢測及維修
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第四階段維修後檢測，檢測合格即維修完成
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