VACUUM APPLICATION
真空應用
市場製程應用
Marketing application
MARKETING APPLICATIONS
電漿Plasma
電漿是由陽離子、中性粒子、自由電子等多種不同性質的粒子所組成的電中性物質，其中陰離子（自由電子）和陽離子分別的電荷量相等，這就是物理學上所謂「電漿」。
產業應用Application
去膠渣/介層附著力之提升/光阻劑之去除/表面粗糙度改善
晶圓清潔/IC封裝/可清洗式基板
光電顯示器清潔/ITO玻璃基板清潔/各種不同元件及材料的表面清潔及表面改善
物理氣相沉積PVD
是一種工業製造上的工藝，是主要利用物理過程來沉積薄膜的技術，即真空鍍膜，常見為蒸鍍或濺鍍。
化學氣相沉積CVD
是一種用來產生純度高、效能好的固態材料的化學技術。半導體產業使用此技術來成長薄膜。
產業應用Application
包括車燈，甚至汽車鋁合金輪毂搭配粉體塗裝， 取代水電鍍汙染製程之綠色環保製程。
薄膜電阻應用；薄膜電容應用；薄膜電感應用；鉭質元器件應用；薄膜型保護元件
典型的CVD製程是將晶圓暴露在一種或多種不同的前趨物下，在基底表面發生化學反應來產生欲沉積的薄膜。
乾式蝕刻Dry Etch/濕式蝕刻Wet Etch
蝕刻製成乃是經過微影製程在表面定義出IC電路圖案的晶圓，以化學腐蝕反應的方式，或上述兩種方式的合成效果，去除部分材質，留下IC電路結構。
產業應用Application
「乾式」(電漿) 蝕刻是用於電路清晰度步驟，而「濕式」蝕刻 (使用化學浴) 主要用於清潔晶圓。
真空設備應用
真空乾燥機/精密熱風真空烤箱/SEMI製程設備 IC封裝測試機台 高潔淨環輻爐管/電漿(等離子)清洗機/真空壓膜機/真空貼合機……
產業應用Application
市場真空應用
顯示器產業/自動化工業/食品加工/廠務型真空……
產業應用Application
